手套箱蒸镀一体机
工作原理
本系统由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。
设备用途
主要用于太阳能电池钙钛矿、OLED和PLED、半导体制备等实验研究与应用。
优点
蒸发镀膜与手套箱组合,实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作,使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中,消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响,保障了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。
多功能磁控溅射镀膜系统
主要用途
用于制备各种金属膜、半导体膜、介质膜、磁控膜、光学膜、超导膜、传感膜以及各种特殊需求的功能薄膜。
产品规格
手套箱箱体
箱体
材料:304不锈钢,厚度3mm
外表面:304不锈钢
内表面:油膜拉丝面
尺寸:可选长度1500、1800、2440、3660、4880、7320mm
可选深度750、1000、1200mm
高度900mm
前窗
倾斜视窗:透明钢化安全玻璃,厚度8mm
手套口
材料为POM:O型圈密封
手套
丁基橡胶:厚度0.4mm,直径7&39;&39;或8&39;&39;
过滤器
规格:0.3μm,一个气体入口和一个气体出口
置物架
材料:不锈钢材料,内置2层,高度可调
箱体照明
位置:LED灯,安装在灯罩内
接口
规格:DN40KF,备用接口若干、电源接口1个(220V)
净化单元
净化柱
功能:气体密封,除水、除氧
容器材料:304不锈钢
净化材料:铜触媒5kg、分子筛5kg
净化能力:除氧60L、除水2kg
水氧指标:<1ppm
循环系统
工作气体:氮气、氩气、氦气
循环能力:集成风机流量90m3/h(可提供更大风机流量145m3/h、180m3/h)
再生
操作:PLC自动控制再生过程
再生气体:工作气体与氢气混合气体(氢气5%- 10%)
真空泵
规格:8m3/h或12m3/h
旋片泵:带油雾过滤器,气振控制
过渡舱
大过渡舱
舱体
尺寸:直径360mm,长度600mm(可选直径400mm)
材料:304不锈钢
表面:内表面为油膜拉丝面,外表面为喷漆或镜面
舱门:双门,阳极氧化铝材料,厚度10mm竖直操作,带提升结构
小过渡舱
舱体
尺寸:直径150mm,长度300mm(可选直径100mm)
材料:304不锈钢
表面:内表面为油膜拉丝面,外表面为喷漆或镜面
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