集成电路照排平台高精度定位传感器

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集成电路照排平台高精度定位电涡流位移传感器 在关键的Z轴高度调整中,支撑圆晶片的平台必须非常精确地处于焦点平面(次原子级)。凯盟系统精确测量Z轴平台的位置(如图)并输出模拟信号(或可选的数字接口)。此传感器的高精度、重复性和分辨率可让用户在平台定位和聚焦上形成闭环。用凯盟公司15N传感器头和前置器SMU9000组成。 主要指标: 测量对象:铝 量程起点:0.25mm 量程:25µm 非线性:±1%  分辨率:<25x10^-11M 灵敏度:0.4V/µm 电源:+12+30V,15MA/每通道 频响:010KHZ 输出:0-10V 温漂:<0.5µm/℃ 欲了解更多关于产品的信息,请访问真尚有公司网站