MF
176 系列 测量显微镜
MF 测量显微镜具有可扩展性,如与三丰
公司Vision Unit 一起使用可提高其性能,
或者可在PC 中进行数据管理,从而确保提高效率。
特点
? 可观察清晰无闪光正像,且视场开阔。
? 测量精度在同类设备中
(符合JIS B 7153 标准)。
? ML 系列,专门为MF 系列设计的高-NA
目标(长工作距离型)。
? 照明装置(反射透射) 可选用高亮度LED
灯泡或卤素灯泡(必选)。
? 利用可变孔径光阑即光圈(反射透射) 可
在无光衍射时进行观察测量。
? 各类标准工作台的尺寸达到400
200mm。
? 释放装置便于在测量工件大或测量
工件数量多时移动工作台。
? 粗调细调给进手柄两端均按标准装配,
便于精确聚焦与观察测量,不受用左手
或右手习惯的影响。
? 高倍放大目镜,观察倍数高达2000X。
? 标准测量显微镜,配有种类繁多的可选附
件,包括Vision Unit 影像装置与各种CCD
数码相机。
性能参数
型号 (XY 工作台尺寸) 505C 1010C 2010C 2017C 3017C 4020C
货号 MF-A 176-661 176-662 176-663 176-664 176-665 176-666
MF-B 176-681 176-682 176-683 176-684 176-685 176-686
XY 工作台行程范围 50 x 50mm 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
Z 轴移动范围 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
调焦方式 手动调焦 (粗调焦: 30mm/rev., 微调焦: 0.2mm/rev.)
测量方式 线性编码器 (2 轴型: X / Y 轴, 3 轴型: X / Y / Z 轴)
分辨率 ( 可转换) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"
测量精度 (20oC 时) XY 轴: (2.2+0.02L)μm, L 为无负载测量长度(mm), JIS B 7153
指示精度 (20oC 时) Z 轴: (5+0.04L)μm, L 为测量长度 (mm)
浮动功能 带有释放功能的X 和Y 轴
XY 工作台台面尺寸 280280mm 280280mm 350280mm 410342mm 510342mm 610342mm
载物玻璃有效尺寸 180180mm 180180mm 250150mm 270240mm 370240mm 440240mm
旋转功能 _ _ _ ±5? (左) ±5? (左) ±3? (左)
台面承重 10kg 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg
工件高度 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
技术参数
观察图像: 正像
光管 (选件): 单目目镜或双目目镜 (俯角: 25o),
十字投影法, 带有TV 插板, 光通比
(目镜/TV 插板: 50/50)
目镜 (选件): 10X, 15X, 20X
物镜: 3X (375-037), W.D.: 72.5mm
可选: 1X, 5X 10X, 20X, 50X, 100X
透射照明
? 光源: 卤素灯泡 (12V, 50W)
? 光学系统: 带有可调整光圈的远心照明系统
? 功能: 光强度可调, 无级亮度调节
表面照明
? 光源: 卤素灯泡 (12V, 150W)
? 光学系统: 带有可调整光圈的科勒照明系统
? 功能: 光强度可调, 无级亮度调节
显示装置:
? 轴数: 2 轴 (MF-A 型) 或3 轴 (MF-B 型)
? 分辨率: 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm /
.0001" / .00005" / .00001"
? 功能: 调零, 方向转换, 数据输出
(通过 RS-232C 接口)
电源: 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
重量: 65.5kg (505C, 1010C) / 69.5kg (2010C) /
130kg (2017C) / 138kg (3017C) /
144kg (4020C)
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