电容传感器ZNXsensor介绍
什么叫电容传感器?
用电测法测量非电学量时,首先必须将被测的非电学量转换为电学量而后输入之。通常非电学量变换成电学量的元件称为变换器;根据不同非电学量的特点设计成的有关转换装置称为传感器,而被测的力学量(如位移、力、速度等)转换成电容变化的传感器称为电容传感器。
ZNXsensor型超精密是一种非接触式的电容位移传感器;两个传感器板形成一个平行板电容器,每个传感器可用在两个不用的测量范围;纳米分辨率;零磁滞。
ZNXsensor应用领域主要为:压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。
主要特点:
量程20~1250μm;
分辨率<0.1nm;零磁滞;
线性最高0.02%;
频带可调:50~5000Hz;灵敏度可调;
真空兼容选项;
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