白光干涉仪是以白光干涉技术为原理,对精密器件和材料表面进行亚纳米级测量的仪器。结合精密Z向扫描模块和3D建模算法等,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,从而获得质量参数,实现对器件表面的三维形貌测量。
中图仪器白光干涉仪价位实惠,一体化操作的测量与分析软件,自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,快速实现批量测量功能。
产品参数
产品型号:SuperView W1系列
产品名称:光学3D表面轮廓仪
影像系统:10241024
光学ZOOM:0.5,(0.75,1可选)
干涉物镜:10,(2.5,5,20,50,100可选)
XY平台:尺寸320200mm,行程140110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈
Z轴行程:100mm,电动
Z向扫描范围:10mm
Z向分辨率:0.1nm
可测样品反射率:0.05%-100%
水平调整:±5°手动
粗糙度RMS重复性:0.005nm
台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、快速高效
抛开白光干涉仪价位来说,白光干涉仪测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点,其独特的光源模式,保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、M器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。
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