PE-100实验室等离子表面处理机/等离子清洗机

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上海昭沅仪器设备有限公司
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PE-100实验室等离子表面处理机

等离子表面处理机是一种非破坏性的表面处理设备,它是利用能量转换技术,在一定真空负压的状态下,以电能将气体转化为活性极高的气体等离子体,气体等离子体能轻柔冲刷固体样品表面,引起分子结构的改变,从而达到对样品表面有机污染物进行超清洗,在极短时间内有机污染物就被外接真空泵彻底抽走,其清洗能力可以达到分子级。在一定条件下还能使样品表面特性发生改变。因采用气体作为清洗处理的介质,所以能有效避免样品的再次污染。等离子清洗器既能加强样品的粘附性、相容性和浸润性,也能对样品进行消毒和杀菌。等离子清洗器现已广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、高分子、生物医学、微观流体学等领域。小型等离子清洗机以体积小、成本低、操作简便等特点广泛应用于科研及小批量生产场合。

PE-100参数:

标准系统特点

电极:229mm330mm,均可配三层电极,间距76mm

等离子发生器功率:300W,100 KHz(连续可调)

质量流量控制器: O-50cc(连续可调)

Pirini真空计:0-1Torr

控制器:基于WINDOWS操作系统的控制系统

真空泵:8CFM氧气

耐用铝合金真空腔体

可选配置

等离子发生器功率和频率:300W,13.56MHz

过程温度控制

自定义电极配置

RIE(反应离子电极)配置

静电屏蔽

系统规格

等离子控制台:432mm 711mm762mm 重量:73Kg

真空泵:152mm457mm229mm 重量:31Kg

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